Tricloruro de boro (BCl3)Es un compuesto inorgánico comúnmente utilizado en procesos de grabado en seco y deposición química de vapor (CVD) en la fabricación de semiconductores. Es un gas incoloro con un fuerte olor acre a temperatura ambiente y es sensible al aire húmedo porque se hidroliza para producir ácido clorhídrico y ácido bórico.

Aplicaciones del tricloruro de boro

En la industria de los semiconductores,tricloruro de boroSe utiliza principalmente para el grabado en seco de aluminio y como dopante para formar regiones de tipo P en obleas de silicio. También se puede utilizar para grabar materiales como GaAs, Si y AlN, y como fuente de boro en ciertas aplicaciones específicas. Además, el tricloruro de boro se utiliza ampliamente en el procesamiento de metales, la industria del vidrio, el análisis químico y la investigación de laboratorio.

Seguridad del tricloruro de boro

tricloruro de boroEs corrosivo y tóxico, y puede causar graves daños a los ojos y la piel. Se hidroliza en aire húmedo, liberando cloruro de hidrógeno, un gas tóxico. Por lo tanto, se deben tomar las medidas de seguridad adecuadas al manipularlo.tricloruro de boro, incluido el uso de ropa protectora, gafas protectoras y equipo de protección respiratoria, y operar en un entorno bien ventilado.