Tricloruro de boro (BCL3)es un compuesto inorgánico comúnmente utilizado en procesos de grabado en seco y deposición de vapor químico (CVD) en la fabricación de semiconductores. Es un gas incoloro con un fuerte olor picante a temperatura ambiente y es sensible al aire húmedo porque se hidroliza para producir ácido clorhídrico y ácido bórico.

Aplicaciones de tricloruro de boro

En la industria de semiconductores,Tricloruro de borose usa principalmente para el grabado seco de aluminio y como un dopante para formar regiones de tipo P en obleas de silicio. También se puede usar para grabar materiales como GaAs, SI, ALN y como fuente de boro en ciertas aplicaciones específicas. Además, el tricloruro de boro se usa ampliamente en el procesamiento de metales, la industria del vidrio, el análisis químico e investigación de laboratorio.

Seguridad del tricloruro de boro

Tricloruro de boroes corrosivo y tóxico y puede causar daños graves a los ojos y la piel. Se hidroliza en aire húmedo para liberar gases de cloruro de hidrógeno tóxico. Por lo tanto, se deben tomar medidas de seguridad apropiadas al manejarTricloruro de boro, incluyendo usar ropa protectora, gafas y equipos de protección respiratoria, y operar en un entorno bien ventilado.