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Especificación | 99,999% |
Oxígeno + Argón | ≤1 ppm |
Nitrógeno | ≤4 ppm |
Humedad (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halocarbinos | ≤1 ppm |
Impurezas totales | ≤10 ppm |
El tetrafluoruro de carbono es un hidrocarburo halogenado con la fórmula químicaCF4Puede considerarse un hidrocarburo halogenado, metano halogenado, perfluorocarbono o un compuesto inorgánico. El tetrafluoruro de carbono es un gas incoloro e inodoro, insoluble en agua y soluble en benceno y cloroformo. Es estable a temperatura y presión normales; evite oxidantes fuertes y materiales inflamables o combustibles. Es un gas incombustible; la presión interna del recipiente aumenta al exponerse a altas temperaturas, lo que conlleva riesgo de agrietamiento y explosión. Es químicamente estable y no inflamable. Solo el reactivo metálico líquido de amoníaco-sodio funciona a temperatura ambiente. El tetrafluoruro de carbono es un gas que causa el efecto invernadero. Es muy estable, puede permanecer en la atmósfera durante mucho tiempo y es un gas de efecto invernadero muy potente. Se utiliza en el proceso de grabado por plasma de diversos circuitos integrados. También se utiliza como gas láser y en refrigerantes de baja temperatura, disolventes, lubricantes, materiales aislantes y refrigerantes para detectores infrarrojos. Es el gas de grabado de plasma más utilizado en la industria de la microelectrónica. Es una mezcla de tetrafluorometano gaseoso de alta pureza y tetrafluorometano gaseoso de alta pureza con oxígeno de alta pureza. Puede ser ampliamente utilizado en silicio, dióxido de silicio, nitruro de silicio y vidrio de fosfosilicato. El grabado de materiales de película delgada como el tungsteno y el tungsteno también se usa ampliamente en la limpieza de superficies de dispositivos electrónicos, la producción de células solares, la tecnología láser, la refrigeración a baja temperatura, la inspección de fugas y el detergente en la producción de circuitos impresos. Se utiliza como refrigerante de baja temperatura y tecnología de grabado en seco de plasma para circuitos integrados. Precauciones de almacenamiento: Almacenar en un almacén de gas no combustible fresco y ventilado. Mantener alejado del fuego y fuentes de calor. La temperatura de almacenamiento no debe superar los 30 °C. Debe almacenarse separado de combustibles y oxidantes fácilmente (combustibles), y evitar el almacenamiento mixto. El área de almacenamiento debe estar equipada con un equipo de tratamiento de emergencia para fugas.
① Refrigerante:
El tetrafluorometano se utiliza a veces como refrigerante de baja temperatura.
② Grabado:
Se utiliza en la microfabricación de productos electrónicos solo o en combinación con oxígeno como agente de grabado de plasma para silicio, dióxido de silicio y nitruro de silicio.
Producto | Tetrafluoruro de carbono CF4 | ||
Tamaño del paquete | Cilindro de 40 litros | Cilindro de 50 litros | |
Peso neto de llenado/cilindro | 30 kg | 38 kg | |
Cantidad cargada en contenedor de 20' | 250 cilindros | 250 cilindros | |
Peso neto total | 7,5 toneladas | 9,5 toneladas | |
Peso tara del cilindro | 50 kg | 55 kg | |
Válvula | CGA 580 |
①Alta pureza, última instalación;
②Fabricante con certificado ISO;
③Entrega rápida;
④Sistema de análisis en línea para el control de calidad en cada paso;
5. Altos requisitos y proceso meticuloso para manipular el cilindro antes del llenado;Gracias a nuestro excelente servicio, nuestra variedad de productos de alta calidad, precios competitivos y entregas eficientes, gozamos de una excelente reputación entre nuestros clientes. Somos una empresa dinámica con un amplio mercado para los principales proveedores de gas electrónico de tetrafluoruro de carbono CF4 de China. Confíe en nosotros y obtendrá mucho más. No dude en contactarnos para obtener más información; le garantizamos nuestra mejor atención en todo momento.
Principales proveedores de tetrafluoruro de carbono (CF4) en China. Desarrollamos constantemente nuevas tecnologías para optimizar la producción y ofrecer productos a precios competitivos y de alta calidad. ¡La satisfacción del cliente es nuestra prioridad! Cuéntenos su idea y desarrollaremos un diseño único para su modelo, evitando así la proliferación de piezas similares en el mercado. Le ofreceremos el mejor servicio para satisfacer todas sus necesidades. ¡Contáctenos de inmediato!