Tetrafluoruro de carbono (CF4)

Parámetros técnicos

El tetrafluoruro de carbono es un hidrocarburo halogenado con la fórmula química CF4.Puede considerarse como un hidrocarburo halogenado, metano halogenado, perfluorocarbono o como un compuesto inorgánico.El tetrafluoruro de carbono es un gas incoloro e inodoro, insoluble en agua, soluble en benceno y cloroformo.Estable a temperatura y presión normales, evite oxidantes fuertes, materiales inflamables o combustibles.Gas no combustible, la presión interna del contenedor aumentará cuando se exponga a altas temperaturas y existe el peligro de agrietamiento y explosión.Es químicamente estable y no inflamable.Solo el reactivo líquido de amoníaco-sodio metálico puede funcionar a temperatura ambiente.El tetrafluoruro de carbono es un gas que provoca el efecto invernadero.Es muy estable, puede permanecer en la atmósfera durante mucho tiempo y es un gas de efecto invernadero muy potente.El tetrafluoruro de carbono se utiliza en el proceso de grabado con plasma de varios circuitos integrados.También se usa como gas láser y se usa en refrigerantes de baja temperatura, solventes, lubricantes, materiales aislantes y refrigerantes para detectores infrarrojos.Es el gas de grabado por plasma más utilizado en la industria microelectrónica.Es una mezcla de gas de tetrafluorometano de alta pureza y gas de tetrafluorometano de alta pureza y oxígeno de alta pureza.Puede ser ampliamente utilizado en silicio, dióxido de silicio, nitruro de silicio y vidrio de fosfosilicato.El grabado de materiales de película delgada como tungsteno y tungsteno también se usa ampliamente en la limpieza de superficies de dispositivos electrónicos, producción de células solares, tecnología láser, refrigeración a baja temperatura, inspección de fugas y detergente en la producción de circuitos impresos.Utilizado como refrigerante de baja temperatura y tecnología de grabado en seco de plasma para circuitos integrados.Precauciones de almacenamiento: Almacenar en un almacén de gas no combustible fresco y ventilado.Mantener alejado del fuego y fuentes de calor.La temperatura de almacenamiento no debe exceder los 30°C.Debe almacenarse separado de combustibles y oxidantes fácilmente (combustibles), y evitar el almacenamiento mixto.El área de almacenamiento debe estar equipada con equipos de tratamiento de emergencia de fugas.

Solicitud:

① Refrigerante:

El tetrafluorometano se utiliza a veces como refrigerante a baja temperatura.

② Grabado:

Se utiliza en la microfabricación de productos electrónicos solo o en combinación con oxígeno como grabador de plasma para silicio, dióxido de silicio y nitruro de silicio.

Paquete normal:

Ventaja:

①Alta pureza, última instalación;

②Fabricante certificado ISO;

③Entrega rápida;

④Sistema de análisis en línea para control de calidad en cada paso;

⑤Alto requisito y proceso meticuloso para manipular el cilindro antes del llenado;