Gas láser

El gas láser se utiliza principalmente para el recocido láser y el gas de litografía en la industria electrónica. Gracias a la innovación en las pantallas de teléfonos móviles y a la expansión de las áreas de aplicación, el mercado del polisilicio de baja temperatura se expandirá aún más, y el proceso de recocido láser ha mejorado significativamente el rendimiento de los TFT. Entre los gases neón, flúor y argón utilizados en el láser excimer ArF para la fabricación de semiconductores, el neón representa más del 96 % de la mezcla de gases láser. Con el perfeccionamiento de la tecnología de semiconductores, el uso de láseres excimer ha aumentado, y la introducción de la tecnología de doble exposición ha provocado un fuerte aumento en la demanda de gas neón consumido por láseres excimer ArF. Gracias a la promoción de la localización de gases especiales para electrónica, los fabricantes nacionales tendrán un mejor espacio de crecimiento en el mercado en el futuro.

La máquina litográfica es el equipo principal en la fabricación de semiconductores. La litografía define el tamaño de los transistores. El desarrollo coordinado de la cadena industrial litográfica es clave para el avance de la máquina litográfica. Los materiales semiconductores adecuados, como la fotorresistencia, el gas de fotolitografía, la fotomáscara y los equipos de recubrimiento y revelado, tienen un alto contenido tecnológico. El gas de litografía es el gas que la máquina litográfica genera para generar un láser ultravioleta profundo. Diferentes gases litográficos pueden producir fuentes de luz con diferentes longitudes de onda, y su longitud de onda afecta directamente la resolución de la máquina litográfica, que es uno de los núcleos de la máquina litográfica. En 2020, las ventas globales totales de máquinas litográficas fueron de 413 unidades, de las cuales las ventas de ASML (258 unidades) representaron el 62%, las ventas de Canon (122 unidades) representaron el 30% y las ventas de Nikon (33 unidades) representaron el 8%.