gas láser

El gas láser se utiliza principalmente para el recocido láser y el gas de litografía en la industria electrónica. Al beneficiarse de la innovación de las pantallas de los teléfonos móviles y la expansión de las áreas de aplicación, la escala del mercado del polisilicio de baja temperatura se ampliará aún más y el proceso de recocido láser ha mejorado significativamente el rendimiento de los TFT. Entre los gases de neón, flúor y argón utilizados en el láser excimer ArF para la fabricación de semiconductores, el neón representa más del 96% de la mezcla de gases del láser. Con el refinamiento de la tecnología de semiconductores, el uso de láseres excimer ha aumentado y la introducción de la tecnología de doble exposición ha provocado un fuerte aumento en la demanda de gas neón consumido por los láseres excimer ArF. Al beneficiarse de la promoción de la localización de gases especiales electrónicos, los fabricantes nacionales tendrán un mejor espacio de crecimiento en el mercado en el futuro.

La máquina de litografía es el equipo principal de la fabricación de semiconductores. La litografía define el tamaño de los transistores. El desarrollo coordinado de la cadena de la industria de la litografía es la clave para el avance de las máquinas de litografía. Los materiales semiconductores compatibles, como el fotorresistente, el gas de fotolitografía, la fotomáscara y los equipos de recubrimiento y revelado, tienen un alto contenido tecnológico. El gas de litografía es el gas que la máquina de litografía genera con un láser ultravioleta profundo. Diferentes gases de litografía pueden producir fuentes de luz de diferentes longitudes de onda, y su longitud de onda afecta directamente la resolución de la máquina de litografía, que es uno de los núcleos de la máquina de litografía. En 2020, las ventas globales totales de máquinas de litografía serán de 413 unidades, de las cuales 258 unidades de ASML representaron el 62%, 122 unidades de Canon representaron el 30% y 33 unidades de Nikon representaron el 8%.