El gas láser se utiliza principalmente para el recocido láser y la litografía en la industria electrónica. Gracias a la innovación en las pantallas de teléfonos móviles y la expansión de sus áreas de aplicación, el mercado del polisilicio de baja temperatura seguirá creciendo, y el proceso de recocido láser ha mejorado significativamente el rendimiento de los TFT. Entre los gases neón, flúor y argón utilizados en el láser excimer ArF para la fabricación de semiconductores, el neón representa más del 96 % de la mezcla de gases láser. Con el perfeccionamiento de la tecnología de semiconductores, el uso de láseres excimer ha aumentado, y la introducción de la tecnología de doble exposición ha provocado un fuerte incremento en la demanda de gas neón para estos láseres. Gracias al fomento de la producción local de gases especiales para la electrónica, los fabricantes nacionales tendrán mejores oportunidades de crecimiento en el mercado en el futuro.
La litografía es el equipo central en la fabricación de semiconductores. La litografía define el tamaño de los transistores. El desarrollo coordinado de la cadena de valor de la industria de la litografía es clave para el avance de esta tecnología. Los materiales semiconductores compatibles, como la fotorresina, el gas de fotolitografía, la fotomáscara y los equipos de recubrimiento y revelado, poseen un alto contenido tecnológico. El gas de litografía es el gas que la máquina utiliza para generar el láser ultravioleta profundo. Los diferentes gases de litografía pueden producir fuentes de luz de distintas longitudes de onda, y su longitud de onda afecta directamente la resolución de la máquina de litografía, que es uno de los aspectos fundamentales de la misma. En 2020, las ventas globales totales de máquinas de litografía alcanzaron las 413 unidades, de las cuales ASML vendió 258 unidades (62%), Canon 122 unidades (30%) y Nikon 33 unidades (8%).
Fecha de publicación: 15 de octubre de 2021
