En 2018, el mercado mundial de gas electrónico para circuitos integrados alcanzó los 4.512 millones de dólares, un aumento interanual del 16%. ¡La alta tasa de crecimiento de la industria de gases especiales electrónicos para semiconductores y el enorme tamaño del mercado han acelerado el plan nacional de sustitución de gases especiales electrónicos!
¿Qué es el gas de electrones?
El gas electrónico se refiere al material de origen básico utilizado en la producción de semiconductores, pantallas planas, diodos emisores de luz, células solares y otros productos electrónicos, y se usa ampliamente en limpieza, grabado, formación de películas, dopaje y otros procesos. Las principales áreas de aplicación del gas electrónico incluyen la industria electrónica, las células solares, las comunicaciones móviles, la navegación y los sistemas de audio y vídeo para automóviles, la industria aeroespacial, la industria militar y muchos otros campos.
Los gases especiales electrónicos se pueden dividir en siete categorías según su propia composición química: silicio, arsénico, fósforo, boro, hidruro metálico, haluro y alcóxido metálico. Según los diferentes métodos de aplicación en circuitos integrados, se puede dividir en gas dopante, gas epitaxia, gas de implantación de iones, gas de diodo emisor de luz, gas de grabado, gas de deposición química de vapor y gas de equilibrio. En la industria de los semiconductores se utilizan más de 110 gases especiales unitarios, de los cuales más de 30 se utilizan habitualmente.
Generalmente, la industria de producción de semiconductores divide los gases en dos tipos: gases comunes y gases especiales. Entre ellos, el gas de uso común se refiere a un suministro centralizado y utiliza una gran cantidad de gas, como N2, H2, O2, Ar, He, etc. El gas especial se refiere a algunos gases químicos utilizados en el proceso de producción de semiconductores, como extensión, inyección de iones, mezcla, lavado y formación de máscaras, que es lo que ahora llamamos gases especiales electrónicos, como SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3 de alta pureza. HCl, Cl2, etc.
En todo el proceso de producción de la industria de semiconductores, desde el crecimiento del chip hasta el empaque del dispositivo final, casi todos los eslabones son inseparables del gas especial electrónico, y la variedad de gas utilizado y los requisitos de alta calidad, por lo que el gas electrónico tiene materiales semiconductores. "Alimento".
En los últimos años, la capacidad de producción de los principales componentes electrónicos de China, como semiconductores y paneles de visualización, ha aumentado y existe una fuerte demanda de sustitución de importaciones de materiales químicos electrónicos. La posición de los gases electrónicos en la industria de los semiconductores es cada vez más destacada. La industria nacional del gas electrónico marcará el comienzo de un rápido crecimiento.
El gas especial electrónico tiene requisitos de pureza muy altos, porque si la pureza no cumple con los requisitos, los grupos de impurezas como el vapor de agua y el oxígeno en el gas especial electrónico formarán fácilmente una película de óxido en la superficie del semiconductor, lo que afecta la vida útil de los dispositivos electrónicos y el gas especial electrónico contiene partículas de impurezas que pueden provocar cortocircuitos en los semiconductores y daños en los circuitos. Se puede decir que la mejora de la pureza juega un papel vital en el rendimiento y el rendimiento de la producción de dispositivos electrónicos.
Con el continuo desarrollo de la industria de los semiconductores, el proceso de fabricación de chips continúa mejorando, y ahora ha alcanzado los 5 nm, que está a punto de acercarse al límite de la Ley de Moore, que equivale a una vigésima parte del diámetro de un cabello humano ( aproximadamente 0,1 mm). Por lo tanto, esto también plantea mayores requisitos en cuanto a la pureza del gas especial electrónico producido por los semiconductores.
Hora de publicación: 15-dic-2021
