En 2018, el mercado mundial de gases electrónicos para circuitos integrados alcanzó los US $ 4.512 mil millones, un aumento interanual del 16%. ¡La alta tasa de crecimiento de la industria electrónica de gas especial para los semiconductores y el enorme tamaño del mercado han acelerado el plan de sustitución nacional de gas especial electrónico especial!
¿Qué es el gas de electrones?
El gas electrónico se refiere al material fuente básico utilizado en la producción de semiconductores, pantallas de paneles planos, diodos emisores de luz, células solares y otros productos electrónicos, y se usa ampliamente en limpieza, grabado, formación de películas, dopaje y otros procesos. Las principales áreas de aplicación de gas electrónico incluyen la industria electrónica, las células solares, las comunicaciones móviles, la navegación de automóviles y los sistemas de audio y video de automóviles, la industria aeroespacial, la industria militar y muchos otros campos.
El gas especial electrónico especial se puede dividir en siete categorías de acuerdo con su propia composición química: silicio, arsénico, fósforo, boro, hidruro de metal, haluro y alcóxido de metal. De acuerdo con los diferentes métodos de aplicación en los circuitos integrados, se puede dividir en gas de dopaje, gas epitaxia, gas de implantación de iones, gas diodo emisor de luz, gas de grabado, gas de deposición de vapor químico y gas de equilibrio. Hay más de 110 unidades de gases especiales utilizados en la industria de semiconductores, de los cuales más de 30 se usan comúnmente.
En general, la industria de producción de semiconductores divide los gases en dos tipos: gases comunes y gases especiales. Among them, the commonly used gas refers to a centralized supply and uses a lot of gas, such as N2, H2, O2, Ar, He, etc. Special gas refers to some chemical gases used in the process of semiconductor production, such as extension, ion injection, blending, washing, and mask formation, which is what we now call electronic special gas, such as high-purity SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCl, CL2, etc.
En todo el proceso de producción de la industria de semiconductores, desde el crecimiento de los chips hasta el envasado final del dispositivo, casi todos los enlaces son inseparables de gas especial electrónico especial y la variedad de gases utilizados y requisitos de alta calidad, por lo que el gas electrónico tiene materiales semiconductores. "Alimento".
En los últimos años, los principales componentes electrónicos de China, como los semiconductores y los paneles de exhibición, han aumentado en la nueva capacidad de producción, y existe una fuerte demanda de sustitución de importaciones de materiales químicos electrónicos. La posición de los gases electrónicos en la industria de los semiconductores se ha vuelto cada vez más prominente. La industria nacional de gas electrónica marcará el rápido crecimiento.
El gas especial electrónico tiene requisitos muy altos para la pureza, porque si la pureza no está a la altura de los requisitos, los grupos de impurezas como el vapor de agua y el oxígeno en el gas especial electrónico formarán fácilmente la película de óxido en la superficie de los semiconductores, lo que afecta la vida útil de los dispositivos electrónicos, y el gas especial de gases electrónicos contiene las partículas de las impurezas puede causar cortes de semiconductor y daños por circuitos y daños por circuitos. Se puede decir que la mejora de la pureza juega un papel vital en el rendimiento y el rendimiento de la producción de dispositivos electrónicos.
Con el desarrollo continuo de la industria de los semiconductores, el proceso de fabricación de chips continúa mejorando, y ahora ha alcanzado las 5 nm, que está a punto de abordar el límite de la ley de Moore, que es equivalente a una vigésima parte del diámetro de un cabello humano (aproximadamente 0.1 mm). Por lo tanto, esto también presenta requisitos más altos sobre la pureza del gas especial electrónico producido por los semiconductores.
Tiempo de publicación: Dic-15-2021
