En 2018, el mercado mundial de gas electrónico para circuitos integrados alcanzó los 4512 millones de USD, un aumento interanual del 16 %.¡La alta tasa de crecimiento de la industria de gases especiales electrónicos para semiconductores y el enorme tamaño del mercado han acelerado el plan de sustitución nacional de gases especiales electrónicos!
¿Qué es el gas de electrones?
El gas electrónico se refiere al material de origen básico utilizado en la producción de semiconductores, pantallas planas, diodos emisores de luz, células solares y otros productos electrónicos, y se usa ampliamente en procesos de limpieza, grabado, formación de películas, dopaje y otros.Las principales áreas de aplicación del gas electrónico incluyen la industria electrónica, las células solares, las comunicaciones móviles, la navegación para automóviles y los sistemas de audio y video para automóviles, la industria aeroespacial, militar y muchos otros campos.
El gas especial electrónico se puede dividir en siete categorías según su propia composición química: silicio, arsénico, fósforo, boro, hidruro metálico, haluro y alcóxido metálico.Según los diferentes métodos de aplicación en circuitos integrados, se puede dividir en gas dopante, gas de epitaxia, gas de implantación de iones, gas de diodo emisor de luz, gas de grabado, gas de deposición de vapor químico y gas de equilibrio.Hay más de 110 unidades de gases especiales que se utilizan en la industria de los semiconductores, de los cuales más de 30 son de uso común.
Generalmente, la industria de producción de semiconductores divide los gases en dos tipos: gases comunes y gases especiales.Entre ellos, el gas de uso común se refiere a un suministro centralizado y utiliza una gran cantidad de gas, como N2, H2, O2, Ar, He, etc. El gas especial se refiere a algunos gases químicos utilizados en el proceso de producción de semiconductores, como extensión, inyección de iones, mezcla, lavado y formación de máscaras, que es lo que ahora llamamos gas especial electrónico, como SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3 de alta pureza, HCl, Cl2, etc.
En todo el proceso de producción de la industria de semiconductores, desde el crecimiento del chip hasta el empaque del dispositivo final, casi todos los eslabones son inseparables del gas especial electrónico, y la variedad de gas utilizado y los requisitos de alta calidad, por lo que el gas electrónico tiene materiales semiconductores."Alimento".
En los últimos años, los principales componentes electrónicos de China, como los semiconductores y los paneles de visualización, han aumentado su nueva capacidad de producción, y existe una fuerte demanda de sustitución de importaciones de materiales químicos electrónicos.La posición de los gases electrónicos en la industria de los semiconductores se ha vuelto cada vez más prominente.La industria electrónica de gas nacional marcará el comienzo de un rápido crecimiento.
El gas especial electrónico tiene requisitos muy altos de pureza, porque si la pureza no está a la altura de los requisitos, los grupos de impurezas como el vapor de agua y el oxígeno en el gas especial electrónico formarán fácilmente una película de óxido en la superficie del semiconductor, lo que afecta la vida útil de los dispositivos electrónicos, y el gas especial electrónico contiene Las partículas de impurezas pueden causar cortocircuitos en los semiconductores y daños en los circuitos.Se puede decir que la mejora de la pureza juega un papel vital en el rendimiento y el rendimiento de la producción de dispositivos electrónicos.
Con el continuo desarrollo de la industria de los semiconductores, el proceso de fabricación de chips continúa mejorando, y ahora ha alcanzado los 5nm, que está a punto de acercarse al límite de la Ley de Moore, que equivale a una vigésima parte del diámetro de un cabello humano ( alrededor de 0,1 mm).Por lo tanto, esto también plantea requisitos más estrictos sobre la pureza del gas electrónico especial producido por los semiconductores.
Hora de publicación: 15-dic-2021
