El hexafluoruro de tungsteno (WF6) se deposita en la superficie de la oblea mediante un proceso CVD, llenando las zanjas de interconexión metálica y formando la interconexión metálica entre las capas.
Hablemos primero del plasma. El plasma es una forma de materia compuesta principalmente por electrones libres e iones cargados. Existe ampliamente en el universo y a menudo se lo considera el cuarto estado de la materia. Se llama estado plasma, también llamado “Plasma”. El plasma tiene una alta conductividad eléctrica y un fuerte efecto de acoplamiento con el campo electromagnético. Es un gas parcialmente ionizado, compuesto por electrones, iones, radicales libres, partículas neutras y fotones. El plasma en sí es una mezcla eléctricamente neutra que contiene partículas física y químicamente activas.
La explicación sencilla es que bajo la acción de alta energía, la molécula superará la fuerza de Van der Waals, la fuerza de enlace químico y la fuerza de Coulomb, y presentará una forma de electricidad neutra en su conjunto. Al mismo tiempo, la alta energía impartida por el exterior supera las tres fuerzas anteriores. Función, los electrones y los iones presentan un estado libre, que puede usarse artificialmente bajo la modulación de un campo magnético, como el proceso de grabado de semiconductores, el proceso CVD, el proceso PVD y el IMP.
¿Qué es la alta energía? En teoría, se pueden utilizar RF tanto de alta temperatura como de alta frecuencia. En términos generales, es casi imposible alcanzar una temperatura alta. Este requisito de temperatura es demasiado alto y puede acercarse a la temperatura del sol. Es básicamente imposible de lograr en el proceso. Por lo tanto, la industria suele utilizar RF de alta frecuencia para lograrlo. La RF de plasma puede alcanzar hasta 13MHz+.
El hexafluoruro de tungsteno se plasma bajo la acción de un campo eléctrico y luego se deposita en forma de vapor mediante un campo magnético. Los átomos de W son similares a las plumas de ganso de invierno y caen al suelo bajo la acción de la gravedad. Lentamente, los átomos de W se depositan en los orificios pasantes y finalmente se llenan completamente para formar interconexiones metálicas. Además de depositar átomos de W en los orificios pasantes, ¿también se depositarán en la superficie de la oblea? Sí, definitivamente. En términos generales, se puede utilizar el proceso W-CMP, que es lo que llamamos proceso de rectificado mecánico para eliminar. Es similar a usar una escoba para barrer el piso después de una fuerte nevada. La nieve del suelo desaparece, pero la nieve del agujero del suelo permanecerá. Abajo, más o menos lo mismo.
Hora de publicación: 24 de diciembre de 2021
