El hexafluoruro de tungsteno (WF6) se deposita en la superficie de la oblea a través de un proceso de CVD, llenando las trincheras de interconexión de metal y formando la interconexión de metal entre capas.
Hablemos primero de Plasma. El plasma es una forma de materia compuesta principalmente de electrones libres e iones cargados. Existe ampliamente en el universo y a menudo se considera el cuarto estado de la materia. Se llama estado de plasma, también llamado "Plasma". El plasma tiene una alta conductividad eléctrica y tiene un fuerte efecto de acoplamiento con el campo electromagnético. Es un gas parcialmente ionizado, compuesto de electrones, iones, radicales libres, partículas neutras y fotones. El plasma en sí es una mezcla eléctricamente neutral que contiene partículas física y químicamente activas.
La explicación directa es que bajo la acción de alta energía, la molécula superará la fuerza de van der Waals, la fuerza de enlace químico y la fuerza de Coulomb, y presentará una forma de electricidad neutra en su conjunto. Al mismo tiempo, la alta energía impartida por el exterior supera las tres fuerzas anteriores. La función, los electrones y los iones presentan un estado libre, que puede usarse artificialmente bajo la modulación de un campo magnético, como el proceso de grabado de semiconductores, el proceso CVD, el PVD y el proceso de IMP.
¿Qué es la alta energía? En teoría, se pueden usar RF de alta temperatura y alta frecuencia. En términos generales, la alta temperatura es casi imposible de lograr. Este requisito de temperatura es demasiado alto y puede estar cerca de la temperatura del sol. Básicamente es imposible de lograr en el proceso. Por lo tanto, la industria generalmente utiliza RF de alta frecuencia para lograrlo. Plasma RF puede alcanzar hasta 13MHz+.
El hexafluoruro de tungsteno se plasma bajo la acción de un campo eléctrico, y luego depositado por vapor por un campo magnético. Los átomos de W son similares a las plumas de ganso de invierno y caen al suelo bajo la acción de la gravedad. Poco a poco, los átomos de W se depositan en los agujeros a través de los agujeros y finalmente se llenan a través de agujeros para formar interconexiones de metal. Además de depositar los átomos de W en los agujeros, ¿también se depositarán en la superficie de la oblea? Sí, definitivamente. En términos generales, puede usar el proceso W-CMP, que es lo que llamamos el proceso de molienda mecánica para eliminar. Es similar a usar una escoba para barrer el piso después de la fuerte nieve. La nieve en el suelo es barrida, pero la nieve en el agujero en el suelo permanecerá. Abajo, aproximadamente lo mismo.
Tiempo de publicación: Dic 24-2021
