El hexafluoruro de tungsteno (WF6) se deposita sobre la superficie de la oblea a través de un proceso de CVD, llenando las zanjas de interconexión metálica y formando la interconexión metálica entre capas.
Hablemos primero del plasma. El plasma es una forma de materia compuesta principalmente de electrones libres e iones cargados. Está ampliamente distribuido en el universo y a menudo se considera el cuarto estado de la materia. Se denomina plasma, también conocido como "plasma". El plasma tiene una alta conductividad eléctrica y un fuerte efecto de acoplamiento con el campo electromagnético. Es un gas parcialmente ionizado, compuesto de electrones, iones, radicales libres, partículas neutras y fotones. El plasma en sí es una mezcla eléctricamente neutra que contiene partículas física y químicamente activas.
La explicación sencilla es que, bajo la acción de alta energía, la molécula superará la fuerza de van der Waals, la fuerza de enlace químico y la fuerza de Coulomb, presentando una forma de electricidad neutra en su conjunto. Al mismo tiempo, la alta energía impartida por el exterior supera las tres fuerzas mencionadas. En función de la función, los electrones e iones presentan un estado libre, que puede utilizarse artificialmente mediante la modulación de un campo magnético, como en los procesos de grabado de semiconductores, CVD, PVD e IMP.
¿Qué es la alta energía? En teoría, se pueden utilizar tanto radiofrecuencia de alta temperatura como de alta frecuencia. En general, es casi imposible alcanzar altas temperaturas. Este requisito de temperatura es demasiado alto y puede ser cercano a la temperatura del sol. Es prácticamente imposible de lograr en el proceso. Por lo tanto, la industria suele utilizar radiofrecuencia de alta frecuencia para lograrlo. La radiofrecuencia de plasma puede alcanzar frecuencias de hasta 13 MHz o más.
El hexafluoruro de tungsteno se plasma bajo la acción de un campo eléctrico y luego se deposita en fase de vapor mediante un campo magnético. Los átomos de W son similares a las plumas de ganso de invierno y caen al suelo por la acción de la gravedad. Lentamente, los átomos de W se depositan en los agujeros pasantes y finalmente se llenan completamente para formar interconexiones metálicas. Además de depositarse átomos de W en los agujeros pasantes, ¿también se depositarán en la superficie de la oblea? Sí, definitivamente. En términos generales, se puede utilizar el proceso W-CMP, que es lo que llamamos el proceso de pulido mecánico para eliminar. Es similar a usar una escoba para barrer el piso después de una fuerte nevada. La nieve del suelo se barre, pero la nieve en el agujero en el suelo permanecerá. Abajo, aproximadamente lo mismo.
Hora de publicación: 24 de diciembre de 2021
