Usos del hexafluoruro de tungsteno (WF6)

El hexafluoruro de tungsteno (WF6) se deposita en la superficie de la oblea a través de un proceso de CVD, llenando las zanjas de interconexión de metal y formando la interconexión de metal entre las capas.

Primero hablemos del plasma.El plasma es una forma de materia compuesta principalmente de electrones libres e iones cargados.Existe ampliamente en el universo y, a menudo, se lo considera el cuarto estado de la materia.Se le llama estado de plasma, también llamado “Plasma”.El plasma tiene una alta conductividad eléctrica y tiene un fuerte efecto de acoplamiento con el campo electromagnético.Es un gas parcialmente ionizado, compuesto de electrones, iones, radicales libres, partículas neutras y fotones.El plasma en sí es una mezcla eléctricamente neutra que contiene partículas activas física y químicamente.

La explicación directa es que bajo la acción de alta energía, la molécula superará la fuerza de van der Waals, la fuerza de enlace químico y la fuerza de Coulomb, y presentará una forma de electricidad neutra como un todo.Al mismo tiempo, la alta energía impartida por el exterior supera las tres fuerzas anteriores.La función, los electrones y los iones presentan un estado libre, que puede usarse artificialmente bajo la modulación de un campo magnético, como el proceso de grabado de semiconductores, el proceso CVD, el proceso PVD e IMP.

¿Qué es la alta energía?En teoría, se pueden utilizar tanto RF de alta temperatura como de alta frecuencia.En términos generales, la temperatura alta es casi imposible de lograr.Este requisito de temperatura es demasiado alto y puede estar cerca de la temperatura del sol.Es básicamente imposible de lograr en el proceso.Por lo tanto, la industria suele utilizar RF de alta frecuencia para lograrlo.Plasma RF puede alcanzar hasta 13MHz+.

El hexafluoruro de tungsteno se plasma bajo la acción de un campo eléctrico y luego se deposita en forma de vapor por un campo magnético.Los átomos de W son similares a las plumas de ganso de invierno y caen al suelo bajo la acción de la gravedad.Lentamente, los átomos de W se depositan en los orificios pasantes y finalmente se llenan por completo para formar interconexiones metálicas.Además de depositar átomos de W en los orificios pasantes, ¿se depositarán también en la superficie de la oblea?Sí definitivamente.En términos generales, puede usar el proceso W-CMP, que es lo que llamamos el proceso de rectificado mecánico para eliminar.Es similar a usar una escoba para barrer el piso después de una fuerte nevada.La nieve en el suelo se barre, pero la nieve en el agujero en el suelo permanecerá.Abajo, más o menos lo mismo.


Hora de publicación: 24-dic-2021