Electrónicogases especialesson una rama importante de gases especiales. Penetran a casi todos los enlaces de la producción de semiconductores y son materias primas indispensables para la producción de industrias electrónicas como circuitos integrados a escala de ultra larga, dispositivos de visualización de paneles planos y células solares.

En la tecnología de semiconductores, los gases que contienen flúor se usan ampliamente. Actualmente, en el mercado mundial de gases electrónicos, los gases electrónicos que contienen flúor representan aproximadamente el 30% del total. Los gases electrónicos que contienen flúor son un componente importante de gases electrónicos especiales en el campo de los materiales de información electrónica. Se utilizan principalmente como agentes de limpieza y agentes de grabado, y también pueden usarse como dopantes, materiales de formación de películas, etc. En este artículo, el autor lo llevará a comprender los gases comunes que contienen flúor.

Los siguientes se usan comúnmente gases que contienen flúor

Trifluoruro de nitrógeno (NF3): un gas utilizado para limpiar y eliminar depósitos, generalmente utilizado para la limpieza de cámaras de reacción y superficies del equipo.

Hexafluoruro de azufre (SF6): Un agente fluorante utilizado en procesos de deposición de óxido y como gas aislante para llenar los medios aislantes.

Fluoruro de hidrógeno (HF): se usa para eliminar los óxidos de la superficie de silicio y como un grabado para grabar silicio y otros materiales.

Fluoruro de nitrógeno (NF): se usa para grabar materiales como el nitruro de silicio (SIN) y el nitruro de aluminio (ALN).

Trifluorometano (CHF3) ytetrafluorometano (CF4): Se usa para grabar materiales de fluoruro como el fluoruro de silicio y el fluoruro de aluminio.

Sin embargo, los gases que contienen flúor tienen ciertos peligros, que incluyen toxicidad, corrosividad y inflamabilidad.

Toxicidad

Algunos gases que contienen flúor son tóxicos, como el fluoruro de hidrógeno (HF), cuyo vapor es altamente irritante para la piel y el tracto respiratorio y dañino para la salud humana.

Corrosividad

El fluoruro de hidrógeno y algunos fluoruros son altamente corrosivos y pueden causar daños graves en la piel, los ojos y el tracto respiratorio.

Inflamabilidad

Algunos fluoruros son inflamables y reaccionan con oxígeno o agua en el aire para liberar calor intenso y gases tóxicos, lo que puede causar fuego o explosión.

Peligro de alta presión

Algunos gases fluorados son explosivos a alta presión y requieren un cuidado especial cuando se usan y almacenan.

Impacto en el medio ambiente

Los gases que contienen flúor tienen altas vidas atmosféricas y valores de GWP, que tienen un efecto destructivo en la capa de ozono atmosférico y pueden causar calentamiento global y contaminación ambiental.

La aplicación de gases en campos emergentes como la electrónica continúa profundizándose, lo que provoca una gran cantidad de nueva demanda de gases industriales. Basado en la gran cantidad de nueva capacidad de producción de los principales componentes electrónicos, como semiconductores y paneles de exhibición en China continental en los próximos años, así como la fuerte demanda de sustitución de importaciones de materiales químicos electrónicos, la industria de gases electrónicos nacionales marcará una alta tasa de crecimiento.