Electrónicogases especialesSon una rama importante de los gases especiales. Están presentes en casi todos los eslabones de la producción de semiconductores y son materias primas indispensables para la producción de componentes electrónicos como circuitos integrados de ultra gran escala, pantallas planas y células solares.

En la tecnología de semiconductores, los gases fluorados se utilizan ampliamente. Actualmente, en el mercado global de gases electrónicos, representan aproximadamente el 30 % del total. Estos gases son un componente importante de los gases electrónicos especiales en el campo de los materiales de información electrónica. Se utilizan principalmente como agentes de limpieza y grabado, y también como dopantes, materiales formadores de películas, etc. En este artículo, el autor le explicará los gases fluorados más comunes.

Los siguientes son gases que contienen flúor de uso común.

Trifluoruro de nitrógeno (NF3): Gas utilizado para la limpieza y la eliminación de depósitos, generalmente empleado para la limpieza de cámaras de reacción y superficies de equipos.

Hexafluoruro de azufre (SF6): Un agente fluorante utilizado en procesos de deposición de óxidos y como gas aislante para el relleno de medios aislantes.

Fluoruro de hidrógeno (HF): Se utiliza para eliminar óxidos de la superficie del silicio y como agente de grabado para grabar silicio y otros materiales.

Fluoruro de nitrógeno (NF): Se utiliza para grabar materiales como el nitruro de silicio (SiN) y el nitruro de aluminio (AlN).

Trifluorometano (CHF3) ytetrafluorometano (CF4): Se utiliza para grabar materiales fluorados como el fluoruro de silicio y el fluoruro de aluminio.

Sin embargo, los gases que contienen flúor presentan ciertos peligros, como toxicidad, corrosividad e inflamabilidad.

Toxicidad

Algunos gases que contienen flúor son tóxicos, como el fluoruro de hidrógeno (HF), cuyo vapor es altamente irritante para la piel y las vías respiratorias, y perjudicial para la salud humana.

Corrosividad

El fluoruro de hidrógeno y algunos fluoruros son altamente corrosivos y pueden causar daños graves en la piel, los ojos y las vías respiratorias.

Inflamabilidad

Algunos fluoruros son inflamables y reaccionan con el oxígeno o el agua del aire liberando calor intenso y gases tóxicos que pueden provocar incendios o explosiones.

Peligro de alta presión

Algunos gases fluorados son explosivos a alta presión y requieren un cuidado especial durante su uso y almacenamiento.

Impacto en el medio ambiente

Los gases que contienen flúor tienen una larga vida útil en la atmósfera y elevados valores de potencial de calentamiento global (PCG), lo que tiene un efecto destructivo sobre la capa de ozono atmosférica y puede provocar el calentamiento global y la contaminación ambiental.

La aplicación de gases en campos emergentes como la electrónica continúa consolidándose, generando una gran demanda de gases industriales. Gracias al considerable aumento de la capacidad de producción de componentes electrónicos clave, como semiconductores y paneles de visualización, en China continental durante los próximos años, así como a la fuerte demanda de sustitución de importaciones de materias primas químicas para la electrónica, la industria nacional de gases electrónicos experimentará un alto crecimiento.