Electrónicogases especialesSon una rama importante de los gases especiales. Penetran en casi todos los eslabones de la producción de semiconductores y son materias primas indispensables para la producción de industrias electrónicas como circuitos integrados de gran escala, pantallas planas y células solares.

En la tecnología de semiconductores, los gases fluorados se utilizan ampliamente. Actualmente, en el mercado mundial de gases fluorados, estos representan aproximadamente el 30 % del total. Estos gases son un componente importante de los gases especiales para electrónica en el campo de los materiales de información electrónica. Se utilizan principalmente como agentes de limpieza y grabado, y también como dopantes, materiales formadores de película, etc. En este artículo, el autor le explicará los gases fluorados más comunes.

Los siguientes son gases que contienen flúor de uso común:

Trifluoruro de nitrógeno (NF3): Gas utilizado para limpiar y eliminar depósitos, generalmente empleado para limpiar cámaras de reacción y superficies de equipos.

Hexafluoruro de azufre (SF6):Un agente fluorante utilizado en procesos de deposición de óxido y como gas aislante para rellenar medios aislantes.

Fluoruro de hidrógeno (HF): se utiliza para eliminar óxidos de la superficie del silicio y como agente de grabado para grabar silicio y otros materiales.

Fluoruro de nitrógeno (NF): se utiliza para grabar materiales como el nitruro de silicio (SiN) y el nitruro de aluminio (AlN).

Trifluorometano (CHF3) ytetrafluorometano (CF4):Se utiliza para grabar materiales de fluoruro como el fluoruro de silicio y el fluoruro de aluminio.

Sin embargo, los gases que contienen flúor presentan ciertos peligros, entre ellos toxicidad, corrosividad e inflamabilidad.

Toxicidad

Algunos gases que contienen flúor son tóxicos, como el fluoruro de hidrógeno (HF), cuyo vapor es altamente irritante para la piel y las vías respiratorias y nocivo para la salud humana.

Corrosividad

El fluoruro de hidrógeno y algunos fluoruros son altamente corrosivos y pueden causar daños graves a la piel, los ojos y el tracto respiratorio.

Inflamabilidad

Algunos fluoruros son inflamables y reaccionan con el oxígeno o el agua del aire liberando calor intenso y gases tóxicos, que pueden provocar incendios o explosiones.

Peligro de alta presión

Algunos gases fluorados son explosivos bajo alta presión y requieren un cuidado especial durante su uso y almacenamiento.

Impacto en el medio ambiente

Los gases que contienen flúor tienen una vida útil atmosférica y unos valores de PCA elevados, lo que tiene un efecto destructivo sobre la capa de ozono atmosférico y puede provocar calentamiento global y contaminación ambiental.

La aplicación de gases en campos emergentes como la electrónica continúa profundizándose, lo que genera una gran demanda de gases industriales. Debido a la gran capacidad de producción de componentes electrónicos importantes, como semiconductores y paneles de visualización, que se desarrollará en China continental en los próximos años, así como a la fuerte demanda de sustitución de importaciones de materiales químicos electrónicos, la industria nacional de gases electrónicos registrará un alto crecimiento.