Electrónicogases especialesSon una rama importante de los gases especiales. Penetran en casi todos los eslabones de la producción de semiconductores y son materias primas indispensables para la producción de industrias electrónicas como circuitos integrados de gran escala, dispositivos de visualización de pantalla plana y células solares.

En la tecnología de semiconductores se utilizan ampliamente gases que contienen flúor. Actualmente, en el mercado mundial de gases electrónicos, los gases electrónicos que contienen flúor representan alrededor del 30% del total. Los gases electrónicos que contienen flúor son un componente importante de los gases electrónicos especiales en el campo de los materiales informativos electrónicos. Se utilizan principalmente como agentes de limpieza y agentes de grabado, y también se pueden utilizar como dopantes, materiales formadores de película, etc. En este artículo, el autor lo llevará a comprender los gases comunes que contienen flúor.

Los siguientes son gases que contienen flúor de uso común.

Trifluoruro de nitrógeno (NF3): gas utilizado para limpiar y eliminar depósitos, generalmente utilizado para limpiar cámaras de reacción y superficies de equipos.

Hexafluoruro de azufre (SF6): Agente fluorante utilizado en procesos de deposición de óxido y como gas aislante para rellenar medios aislantes.

Fluoruro de hidrógeno (HF): Se utiliza para eliminar óxidos de la superficie del silicio y como agente decapante para grabar silicio y otros materiales.

Fluoruro de nitrógeno (NF): Se utiliza para grabar materiales como el nitruro de silicio (SiN) y el nitruro de aluminio (AlN).

Trifluorometano (CHF3) ytetrafluorometano (CF4): Se utiliza para grabar materiales fluorados como el fluoruro de silicio y el fluoruro de aluminio.

Sin embargo, los gases que contienen flúor presentan ciertos peligros, como toxicidad, corrosividad e inflamabilidad.

Toxicidad

Algunos gases que contienen flúor son tóxicos, como el fluoruro de hidrógeno (HF), cuyo vapor es muy irritante para la piel y las vías respiratorias y perjudicial para la salud humana.

Corrosividad

El fluoruro de hidrógeno y algunos fluoruros son altamente corrosivos y pueden causar daños graves a la piel, los ojos y el tracto respiratorio.

Inflamabilidad

Algunos fluoruros son inflamables y reaccionan con el oxígeno o el agua del aire para liberar calor intenso y gases tóxicos, que pueden provocar un incendio o una explosión.

Peligro de alta presión

Algunos gases fluorados son explosivos a alta presión y requieren cuidado especial cuando se usan y almacenan.

Impacto en el medio ambiente

Los gases que contienen flúor tienen una vida útil atmosférica y valores de GWP elevados, lo que tiene un efecto destructivo sobre la capa de ozono atmosférico y puede causar calentamiento global y contaminación ambiental.

La aplicación de gases en campos emergentes como la electrónica continúa profundizándose, generando una gran cantidad de nueva demanda de gases industriales. Debido a la gran cantidad de nueva capacidad de producción de importantes componentes electrónicos, como semiconductores y paneles de visualización, en China continental en los próximos años, así como a la fuerte demanda de sustitución de importaciones de materiales químicos electrónicos, la industria nacional del gas electrónico marcará el comienzo. una alta tasa de crecimiento.