Qué estetrafluoruro de carbono?¿Cuál es el uso?
tetrafluoruro de carbono, también conocido como tetrafluorometano, se considera un compuesto inorgánico.Se utiliza en el proceso de grabado con plasma de varios circuitos integrados y también se utiliza como gas láser y refrigerante.Es relativamente estable a temperatura y presión normales, pero es necesario evitar el contacto con oxidantes fuertes, materiales inflamables o combustibles.El tetrafluoruro de carbono es un gas no combustible.Si se encuentra con mucho calor, aumentará la presión interna del recipiente y existe el peligro de que se agriete y explote.Por lo general, solo puede interactuar con el reactivo líquido de metal de amoníaco y sodio a temperatura ambiente.
tetrafluoruro de carbonoes actualmente el gas de grabado de plasma más grande utilizado en la industria microelectrónica.Puede ser ampliamente utilizado en el grabado de silicio, dióxido de silicio, vidrio de fosfosilicato y otros materiales de película delgada, limpieza de la superficie de dispositivos electrónicos, producción de células solares, tecnología láser, aislamiento de fase gaseosa, refrigeración a baja temperatura, agentes de detección de fugas, y los detergentes en la producción de circuitos impresos tienen un gran número de aplicaciones.
Hora de publicación: 01-nov-2021
